iFocus是一款用於晶圓外觀缺陷檢測設備，利用STI的2D/3D視覺檢測係統，采用雙2D Camera同時采集亮區和暗區照片分析特征缺陷；True 3D技術，可以精確量測Bumping高度，Bumping共麵性等特征。可適用於EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢測。