LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

LODAS™ – LI係列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。