OptoScan600是一款光學粗糙度測試儀，主要用於檢測晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數據。

光學粗糙度測試儀WaferMaster WM 300 不像傳統輪廓儀需要長時間的垂直高度掃描加上水平拚接以得到3D的表麵輪廓進行耗時粗糙度計算。利用角分辨光散射技術測量晶圓表麵梯度角計算的粗糙度，以每秒2000次高速掃描全晶圓表麵上麵粗糙度，為目前業界最快全晶圓粗糙度測量係統，可以依各種樣品形狀尺寸客製化量測探頭以及平台解決方案。WM 300 可直接計算得到以微米為單位的粗糙度值，波紋度和輪廓值。