LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

UltraINSP晶圓表麵缺陷檢測係統是表麵缺陷檢測的蕞完善的國產化替代產品，係統包括四個模塊可以檢測所有晶圓表麵並同步采集數據：晶圓正麵、背麵、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；

iFocus是一款用於晶圓外觀缺陷檢測設備，利用STI的2D/3D視覺檢測係統，采用雙2D Camera同時采集亮區和暗區照片分析特征缺陷；True 3D技術，可以精確量測Bumping高度，Bumping共麵性等特征。可適用於EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢測。

LODAS™ – LI係列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。